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矽靶材及鍍膜材料係列/MATERIAL

矽鍍膜材料

 

中文名稱: 矽鍍膜材料


發布時間: 2017-06-02 14:54:39


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矽鍍膜材料


材質:多晶矽或單晶矽

純度:5N--6N

尺寸及公差:根據客戶要求定製


矽靶材及鍍膜材料主要用於平板顯示器和光學鍍膜。

靶材的主要性能要求

純度:純度是靶材的主要性能指標之一,因為靶材的純度對薄膜的性能影響很大。

密度:為了減少靶材固體中的氣孔,提高濺射薄膜的性能,通常要求靶材具有較高的密度。

晶粒尺寸及晶粒尺寸分布:通常靶材為多晶結構,晶粒大小可由微米到毫米量級。

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